真空可以指压力小于正常---压力（负压）的任何气体空间。当金属的高频热处理设备过程放置在真空中时，它被称为真空高频热处理设备。真空高频热处理设备几乎可以实现所有的高频热处理设备过程，如淬火、退火、回火、碳渗透、铬渗透等。；气体淬火、油淬火、盐淬火、水淬火、脱气等，也可用于化学高频热处理设备。真空状态下负压的程度称为真空度。真空度常用的单位是pa和支架(torr，1torr=133.3pa)。气压越低，真空度越高；气压越高，真空度越低。根据真空度的大小，真空通常分为低真空、中真空、高真空和真空。此外，真空度通常用真空状态下水蒸气的来表示。真空炉中的气体包括残留空气、炉体和工件中释放的气体；润滑油蒸发气体和外部渗透气体非常复杂，必须使用真空泵保持排气，以---所需的真空度。

通过真空高频热处理设备获得的金属工件表面可以获得一般高频热处理设备所没有的特殊效果，显示出一定的优势。在钢的高频热处理设备过程中，真空气氛主要具有以下有益或有害的作用。

（1）脱脂

在高频热处理设备之前，由于机械加工或压力成型，工件经常粘在表面。附着在金属表面的油。润滑剂和其他蒸汽压力较高。当真空加热时，它们会发挥或分解成水、氢和等气体，并被真空泵带走，与不同的金属表面发生化学反应，得到无氧化、无腐蚀、非常光滑的表面。然而，生产工作一般仍需提前脱脂，以减少油污染对真空系统的污染。

（2）除气

金属熔化时，液态金属应吸收h2.o2.n2.co等气体。由于冷却速度确认过快，这些气体留在固体金属中，产生孔隙、白点等冶金缺陷，影响材料的电阻、磁导率、硬度、强度、塑性、韧性等性能。根据气体在金属中的溶解度，与周围环境的分压平方成正比。分压越小，真空度越高。

真空高频热处理设备也有以下不利现象。

（1）合金元素蒸发各种金属在不同温度下有不同的蒸汽压力。当真空度增---，蒸汽压力高的金属（mn.cr）容易蒸发，损坏材料本身的化学成分，污染其他金属表面，使零件或材料篮粘结，造成电气短路、材料改性等缺陷。

对于钢来说，真空高频热处理设备中容易蒸发的合金元素是mn.cr，它们是钢中常用的金属元素。通常，零件应先抽真空，加热至800℃以下；惰性气体应降低800℃以上的真空度20~26.7pa。

(2)真空加热油淬导致钢件渗碳。

钢经真空加热后会导致渗碳。例如，当真空度为10-2×1333.3pa时，当加热温度为900℃时，30crsin2a钢可以发现渗碳。这是因为高温真空加热时表面的净化使材料表面处于活性状态，当热工件与淬火油接触时，在油蒸气的包围下会导致渗碳过程。

高频热处理设备的四把火是：退火、正火、淬火、回火。

退火:将钢加热到一定温度并保温一段时间，然后使它慢慢冷却，称为退火。钢的退火是将钢加热到发生相变或部分相变的温度，经过保温后缓慢冷却的高频热处理设备方法。退火的目的，是为了消除组织缺陷，---组织使成分均匀化以及细化晶粒，提高钢的力学性能，减少残余应力；同时可降低硬度，提高塑性和韧性，---切削加工性能。所以退火既为了消除和---前道工序---的组织缺陷和内应力，又为后续工序作好准备，故退火是属于半成品高频热处理设备，又称预先高频热处理设备。

正火:正火是将钢加热到临界温度以上，使钢全部转变为均匀的奥氏体，然后在空气中自然冷却的高频热处理设备方法。它能消除过共析钢的网状渗碳体，对于亚共析钢正火可细化晶格，提高综合力学性能，对要求不高的零件用正火代替退火工艺是比较经济的。