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一、化学真空热处理：

化学真空热处理是改变工件外观的化学成分、排列方法和功能的金属真空热处理技能。化学真空热处理与外部真空热处理的区别在于，后者改变了工件外部的化学成分。化学真空热处理是指在含有碳、氮或其他合金元素的介质(气体、液体、固体)中加热工件，然后将碳、氮、硼和铬引入工件表面。进入元素后，有时会进行淬火、回火等真空热处理技术。渗碳、氮化和金属化是化学真空热处理的主要方法。

二、外表真空热处理：

表面真空热处理是一种金属真空热处理技术，只对工件表面进行加热，改变其表面能。为了只加热工件的外表层而不向工件传递过多的热量，施加的热源必须具有较高的能量密度，即每个单位面积给工件的热能，使工件的外表层或部分在短时间内或瞬间达到高温。外真空热处理的主要方法是火焰淬火和感应加热。常用的热源有氧或氧---火焰、感应电流、激光和电子束。

应用要点：

1.保持钢在淬火后的高硬度和耐磨性时用低温回火；在保持一定韧度的条件下提高钢的弹性和屈服强度时用中温回火；以保持高的冲击韧度和塑性为主，又有足够的强度时用高温回火；

2.一般钢尽量避免在230~280度、不锈钢在400~450度之间回火，因为这时会产生一次回火脆性。

调质的操作方法，目的及其应用要点如下：

操作方法：淬火后高温回火称调质，东莞真空热处理加工即将钢件加热到比淬火时高10~20度的温度，保温后进行淬火，然后在400~720度的温度下进行回火。